最大测量直径: φ420mm
(R轴)输送范围: 220mm
移动速度: 0.6～6mm/s（MAX20mm/s）
(Z轴)输送范围: 500mm
移动速度: 0.6～6mm/s（MAX30mm/s）
最大装载直径: φ680mm
最大测量高度: 500mm
工作台外径: φ290mm
调节范围: ±5mm/±1°
装载承重: 60KG
直线度精度(Z轴): 0.1μm/100mm或0.25μm/500mm
半径方向(R轴): 0.5μm/200mm
平行度精度(Z轴): 1.5μm/500mm
(Z轴/R轴)自动停止精度: ±5μm
机械尺寸: 2000*924*1950mm