抛光盘直径 300 mm ~ 400 mm （对应1605型号的大盘面设计）
最大加工工件尺寸 Φ 200 mm （支持圆形或方形薄片）
最大工件承载厚度 3.0 ~ 15.0 mm （可调节行星轮厚度适配）
目标加工精度 平面度 ≤ 0.005 mm / 总厚度误差（TTV） ≤ 0.6 μm
表面粗糙度 Ra ≤ 0.125 μm （镜面级抛光）
电机总功率 3.7 kW ~ 5.5 kW （驱动上下盘、太阳轮及行星轮）
电源与气压要求 220V / 50Hz / 3相电（铭牌额定） / 0.4 ~ 0.6 MPa（气动加压）