测量头：VR-3000K
适用控制器：VR-3000K
视野范围：
广视野模式：
15英寸显示器倍率12×：24.0 × 18.0 mm
15英寸显示器倍率25×：12.0 × 9.0 mm
15英寸显示器倍率38×：8.0 × 6.0 mm
15英寸显示器倍率50×：4.5 × 3.4 mm
高倍率模式：
15英寸显示器倍率40×：7.6 × 5.7 mm
15英寸显示器倍率80×：3.8 × 2.9 mm
15英寸显示器倍率120×：2.5 × 1.9 mm
15英寸显示器倍率160×：1.4 × 1.1 mm
变焦倍率：1×–4×
可测高度：广视野模式10 mm（±5 mm）；高倍率模式1 mm（±0.5 mm）
显示分辨率：0.1 μm
高度测量重复精度（σ）：0.5 μm
宽度测量重复精度：广视野模式1 μm；高倍率模式0.5 μm
高度测量精度：±3 μm
宽度测量精度：广视野模式±5 μm；高倍率模式±2 μm
拼接功能：全自动测量（XY平台自动控制＋自动对焦），支持自动调整及自动模板分析
XY轴行程：184 × 88 mm
Z轴行程：90 mm
旋转角度：±180°
倾斜角度：±30°以上
工作距离：75 mm
图像传感器：400万像素黑白CMOS
发射镜头：双远心镜头 ×2
接收镜头：双远心镜头
观察光源：LED环形光源（红、绿、蓝）
测量光源：白色LED
图像尺寸：1024 × 768 / 2048 × 1536 pixels
数据处理：KEYENCE指定专用电脑（Windows 7）
电源：100–240 VAC ±10%，50/60 Hz
功耗：150 VA
环境温度：+15–+30 °C
相对湿度：35–80% RH（无凝露）
设备重量：28.0 kg