空间示值误差 MPE_E:1.8 + 3L/1000 μm空间探测误差 MPE_P:2.0 μm标配测座:雷尼绍PH20全自动五轴测座最大探测速度:200mm/s工作台承重:800kg三轴行程:800x1000x600mm工作台尺寸:1200x100mm最大移动:520mm/s