测量范围：900 × 1600 × 800 mm测量精度：MPEE =（1.7 + 3L/1000）μm（L单位：mm）分辨率：0.1 μm驱动方式：全轴空气轴承最大速度：519 mm/s加速度：1732 mm/s²最大工件承重：1500 kg最大工件高度：1000 mm工作环境：16–26℃自动温度补偿，无需严格恒温车间
