三轴行程：350 × 250 × 300 mm
三轴速度：6 * 6 * 15m/min
三轴定位分辨率：0.05 μm
工作槽尺寸：790 × 530 × 350 mm
工作台尺寸：500 × 400 mm
夹持面高度：1000 mm
工作台与卡盘间距：150 / 450 mm
最大电极重量：50 kg
最大工件重量：500 kg
最大工件尺寸：790 × 530 × 275 mm
液位编程范围：100 – 325 mm