电子源类型： 肖特基热场发射电子源
加速电压： 100 V ～ 30 kV
放大倍率： 12× ～ 1,000,000×
SEM分辨率：
1 nm @ 30 kV
1.5 nm @ 15 kV
2.8 nm @ 1 kV
电子束曝光尺寸： 20 nm
场拼接精度：<100 nm
扫描频率： 6 MHz
图形格式： GDSII