电子源类型： 肖特基热场发射电子源加速电压： 100 V ～ 30 kV放大倍率： 12× ～ 1,000,000×SEM分辨率：1 nm @ 30 kV1.5 nm @ 15 kV2.8 nm @ 1 kV电子束曝光尺寸： 20 nm场拼接精度：<100 nm扫描频率： 6 MHz图形格式： GDSII
