三轴行程：280x350x260mm
A轴(倾斜)行程(度）：+95至-12°
C轴(旋转)行程(度)：360°
位置精度:±1μm
可重复性:±0.5μm
孔径精度:±2μm
置精度:小于2μm
加工孔径:0.025-0.5mm
外形尺寸(宽x长x高)(毫米/英寸):2,010x2,450x2,720mm
机床重量:2,730 kg
可完成孔径：0.018±2μm
孔间距：25μm±3μm
孔口崩边：小于3um
工孔数：1500孔