作用对象：晶圆
最大加工晶圆尺寸：Φ300mm
主轴数量：2个
卡盘表数量：3个
兼容机型：DFG800系列
外形尺寸：约1400*3190*1800mm
砂轮规格：金刚石砂轮，直径可达300mm
额定输出功率： 4.8kW
研磨速度范围：1000-7000Rpm(一般情况)
研磨精度：
①单片晶圆内厚度误差：极小，通常控制在微米级，如1.5μm以下
②晶圆间厚度误差：同样控制在微米级，确保批量加工的晶圆具有一致的厚度
③表面粗糙度：Ry值可达到0.13μm（使用#2000砂轮完成）或0.15μm（使用#1400砂轮完成）